高分辨率膜厚測控儀的原理是：石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質量不同而變化。根據這一特性，可以通過測量石英晶振片的振動頻率變化，以計算出沉積膜的質量多少。再通過已知的膜密度和面積，而最終精確計算出所沉積膜的厚度。
性能參數：
膜厚范圍:
0.0 - 999.9nm
分 辨 率:
0.1nm
密度范圍:
0.50 - 30.00g/cm³
修正因子:
0.25 - 8.0
存儲功能:
可存儲4組密度和修正因子數據
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