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技術參數
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樣品室大小
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直徑150mm 、高度 165mm - 250mm可調
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蒸發源
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Bradley型 (6.15mm直徑 rods) ，高強度不銹鋼結構
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蒸發控制
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基于微處理器的反饋回路控制，能夠進行遠程電流/電壓感應，基于真空水平變量的安全互鎖功能，最大電流180A，提供過流保護
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樣品臺
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可安裝12個掃描電鏡樣品座
高度在60mm范圍內可調
旋轉－行星轉動－傾斜樣品臺（選件）
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模擬計量
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真空, 雙范圍 Atm － 0.001mb ；1 x 10-3mb－ 5 x 10-6 mb
電流, 0 - 200A
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控制方法
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自動蒸發控制，使用程序設定的電壓和時間，自動放氣
以脈沖或連續方式進行完全手動控制
數字定時器（0－30s）
數字電壓設置（0.1 to 5.5V）
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真空系統
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結構
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分子渦輪泵/旋片泵組合，無油渦旋式真空泵（選件）
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抽真空速度
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80 L/s.
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抽真空時間
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1.5 min至 1 x 10-4mb
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極限真空
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5 x 10-6mb
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桌上系統
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旋片泵可置于抗震臺上，全金屬真空耦合系統
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系統要求
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電源
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100-120 或 200-240 VAC, 50/60Hz
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功率
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1200 VA max.
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