108C Auto是用于掃描電鏡能譜分析的最先進的鍍碳儀之一。

 

l         獨特的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚大約20nm左右進行多次蒸發，無須切削或調整碳棒形狀。

l         108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。該鍍膜系統結構緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。

l         使用新型的蒸發裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控，蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低，碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。

l         可選擇手動或自動方式操作。

l         自動模式下，蒸發源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下，獨特的設計允許以脈沖或連續的方式操作，并通過旋鈕控制輸出電壓。

l         可配備MTM-10高分辨膜厚監控儀（選件）。分辨率優于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范圍內，重現性可優于5％。

技術參數
樣品室大小	直徑120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
蒸發源	Bradley型 (6.15mm rods, [1/4"]) 高強度不銹鋼結構
蒸發控制	基于微處理器的反饋回路控制，能夠進行遠程電流/電壓感應，基于真空水平變量的安全互鎖功能，最大電流180A，提供過流保護
樣品臺	可裝置12個樣品座，高度在30mm范圍內可調
模擬計量	真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A
厚度監控	MTM-10 高分辨膜厚監控儀(選件)
控制方法	自動蒸發控制，使用程序設定的電壓和時間 以脈沖或連續方式進行完全手動控制 數字定時器（0－30s） 數字電壓設置（0.1 to 6.0V）